Purificador de gás/Sistema de purificação/Gerador de ultra-alta pureza

Áreas de aplicação: semicondutores eletrônicos, circuitos integrados de larga escala, MAMS, silício monocristalino, silício policristalino e epitaxia de silício, LED, TFT, nitreto de gálio, carboneto de silício, pesquisa e desenvolvimento científico, análise experimental, etc.

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Características

● Duas torres alternam a regeneração de adsorção, operação contínua automática.
● Conexões de tubos de aço inoxidável polido classe EP 316L.
● Taxa de remoção de até 99,9999999% com filtro de 0,003 m.
● O CLP Siemens pode ser conectado ao sistema DCS.
● A função de alarme de segurança é perfeita.
● Serviço de nuvem remota está disponível.
● Produção e montagem em ambiente super limpo.
● Capacidade de gás 10-20000nm3 /h.

Parâmetros da tabela

Modelos de série

Para gás

Índice de gás bruto

Índice de gás do produto

Com

Ele

H2O

CO2

CH4

Granularidade

9VV

●

≤0,1 ppb

—

≤0,1 ppb

—

0,003 mm

9OVV

●

—

●

≤0,1 ppb

—

0,003 mm

9VVX

—

●

≤0,1 ppb

0,003 mm

—

●

—

≤0,1 ppb

—

≤0,1 ppb

0,003 mm

—

●

≤0,1 ppb

0,003 mm

—

●

—

≤0,1 ppb

—

≤0,1 ppb

0,003 mm

Nota: Especificações de fluxo comuns:1-20000Nm3/h;Pressão comumente usada:1-20 Mpa

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