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Purificador de gás/Sistema de purificação/Gerador de ultra-alta pureza
Áreas de aplicação: semicondutores eletrônicos, circuitos integrados de larga escala, MAMS, silício monocristalino, silício policristalino e epitaxia de silício, LED, TFT, nitreto de gálio, carboneto de silício, pesquisa e desenvolvimento científico, análise experimental, etc.
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